1. nimmt eine offene Struktur an,, die für Demontage und Wartung bequem ist;
2. eingebautes Gitter- oder Magnetgitter-Rückkopplungssystem, die Auflösung beträgt 0.1um, 0.5um, 1um, 5um für optional;
3 . nehmen Sie flachen Linearmotor des beweglichen Magneten an;
4. Wiederholgenauigkeit bis zu ±1 µm;
5. geringe Größe und einfache Struktur,, die für leichte Lasten und hochpräzise Anlässe geeignet ist;
6. schnell zu XY-Kreuztischen zusammenbauen;
