1. Die Basis ist aus Marmor mit modularem Design, gute Steifigkeit und gute Stabilität;

2. High-End-Linearmotor und Gitter-Encoder verwenden;

3. nehmen ein inkrementelles Rückkopplungssystem für optische Skalen an;

4. zu XY-Kreuztischen zusammenbauen;

5. Wiederholgenauigkeit bis zu ±1 µm (innerhalb eines beliebigen Hubs von 500 mm);